镀膜机光控原理是:利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。监控方法:在镀膜过程中,膜层厚度增加后,其透过率或者反射率跟着变化,当到达极值点时其光学厚度为监控波长的1/4,利用这个控制膜厚。晶控法监控膜厚的原理 为利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理,通过仪表监控频率控制膜厚的。
30/50/75W光源经直流稳压电源稳压,使光源强度保持不便,在光源前加一个由同步电机带动的截光片,使光线有时通过,有时通不过,截光频率为每秒300次,因此光源变成了300r/s的交流光源,再经过聚光镜进入单色仪的入射狭缝,经过棱镜将白光分成单色光线,然后通过出射狭缝射出,得到单色光,通过鼓轮转动棱镜调节单色光波长,由出射狭缝出来的光线被光电倍增管接收,将光信号转换为电信号,再经过选频放大后以电流计指示。在镀膜过程中,随介质膜厚度的增加,在1/4波长和其整数倍的厚度时,其反射光和透射光强度陆续出现极大值和极小值,利用这种原理来控制膜厚的方法叫极值法控制。
我们用光控,都是一个点控制两层的,第一层高折射材料,二层是低折射率材料,波长选定,要注意的是,光控机都是有波长范围的,不要设的太极限就行,一般在450-900样子,如使用极限波长,可能由于光的能量太弱,造成误差大。极值控制,如下图,不管你走多少个极值,停点不要设计和下一个极值太近就行。
新科隆电脑里面实际存储的程式,一般都是一个光控片监控三层。第一个监控片低、高、低折射率,因为趋势是下降,所以起始光亮值设置比较高。大概在为90左右;第二个监控片高、低、高折射率,因为趋势是上扬,所以起始光亮值设置为20。每层的起始光亮值的选定保证目的比率基本都在20~30左右为最佳。
镀膜机光控片
材料:光学玻璃
光控原理:利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
监控方法:在镀膜过程中,膜层厚度增加后,其透过率或者反射率跟着变化,当到达极值点时其光学厚度为监控波长的1/4,利用这个控制膜厚。
材料工艺:主要采用肖特B270材料,通过“切割—研磨—抛光”加工成品,主要用于镀膜机上镀膜层厚度监控。
典型尺寸: OD142*ID80*1.80mm、OD142*ID80*1.35mm
卡口类型:单卡口/双卡口
【参考下图】
镀膜机晶控片
监控膜厚原理:利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理,通过仪表监控频率控制膜厚的。
材料工艺:压电石英晶体,表面镀金、镀银
典型规格:OD13.95*4MHz、OD13.95*6MHz,等等 ...
国外主要供应商:美国、韩国,嘉兴晶控电子公司,等等...